近日，中关村发展集团投资企业云汉星驰自主研发的“基于CLBO的高功率深紫外193nm窄线宽皮秒激光系统（型号：Mizar-VUV-280）”，成功入选《北京市2026年第三批首台（套）重大技术装备目录（半导体领域）》。      

首台（套）重大技术装备在突破关键核心技术、促进创新成果向新质生产力转化等方面发挥着重要作用。自2020年以来，北京市建立了由市领导牵头、多部门协同联动的统筹联席会制度，构建起涵盖产品评定、资金支持、政府基金、金融支持、保险补贴的政策体系，将首台（套）作为推动关键核心技术攻关、实现产业创新发展和结构升级的重要抓手。此次认定标志着市级权威部门对云汉星驰科创实力与装备技术水平的高度认可。

云汉星驰成立于2023年，始终专注于先进制程半导体领域激光器产品的研发和制造，致力于解决关键技术的“卡脖子”问题，助力实现国产替代和自主可控。云汉星驰坚持以全固态激光器技术为核心，目前已推出纳秒、皮秒、飞秒激光器四大系列共八款产品，波长覆盖1064nm至266nm，并成功交付诸多行业头部企业，获得市场认可。

中关村发展集团旗下中关村资本于2024年投资云汉星驰，用于其激光器在量检测等半导体设备的基台验证、量产工作。投后赋能过程中，投资团队积极发挥自身生态优势，协助企业对接潜在投资人及产业资源，进一步助力企业发展。